太陽電池向けアプリケーション

再生可能エネルギーの利用において、特に普及しているシステムは太陽光を利用した発電システムです。太陽光発電に使用するシリコーンウェハーやセルの更なる生産効率の向上にむけて、ウェハー専用のグリッパーやマークレスゴム製パッド等、様々な製品をラインアップしています。

吸着時のストレスやマークを軽減

接着面積の大きいマークレス性パッド
接着面積の大きいマークレス性パッド

フラットサクションパッド SGP-HT1シリーズは、繊細な太陽電池用ウェハーやセルの吸着に適した真空パッドです。

大きなシールリップが、薄く繊細なウェハーやセルを支え、ワークへのストレスを軽減するデザインになっています。材質には吸着跡を残しにくいマークレスゴムを使用しています。マークレスゴムHT1シリーズは温度への耐性もあり、長時間時140℃、短時間時170℃のワークの吸着が可能です。

ウェハーやセル向けマークレスパッド SGP-HT1

ウェハー・セルと同等サイズの専用グリッパー

シリコンウェハー・セル専用ウェハーグリッパー SWGm
シリコンウェハー・セル専用グリッパー SWGm

ウェハーグリッパー SWGmシリーズは、ウェハーやセルの搬送専用に開発された特別なグリッパーです。

5インチ向けと6インチ向けのグリッパーがあり、各グリッパーの吸着面は対応するウェハーやセルとほぼ同じサイズになっています。そのため局所的な負荷がかからず、安定した高速搬送を実現します。吸込み量が多い真空発生器を搭載し、吸着が難しい変形や割れ目を持つウェハーを搬送する事も可能です。 

ウェハーグリッパー SWGm

極力接触せずにワークを搬送

極力接触を避けてシリコーンウェハーを搬送
極力接触を避けてシリコーンウェハーを搬送

非接触パッド SBSシリーズはベルヌーイ式のグリッパーです。

エアクッションを挟んだ状態でワークを引き寄せるため、少ない接触面積でワークを保持する事ができます。ワークの回転を抑制するブレーキフットが付属し、搬送時の横ずれを軽減します。ブレーキフットは容易に取り外す事ができ、ブレーキフットを使用しない事も可能です。

非接触パッド SBS

多吸込み量・低真空圧で繊細なワークを吸着

真空圧が高くなりすぎず、繊細なワークの搬送に適したエジェクタ
圧が高くなりすぎず繊細なワークに適したエジェクタ

コンパクトエジェクタ SCPi-15/25は、多吸込みと低真空圧を両立するエジェクタです。

吸込み量は大きいながらも、最大真空圧は-43kPaと控えめなため(標準のSCPiの到達真空圧:-85kPa)、高い圧力によるデリケートなワーク吸着時の破損やダメージを軽減します。SCPi / SMPiシリーズはフィールドバスに対応しており、離れた場所からシステムの管理が可能です。

コンパクトエジェクタ SCPi-15/25