ウェハーグリッパー SWGm

ウェハーグリッパー SWGm
ウェハーグリッパー SWGm
アクセサリ:緩衝用ベローズパッド
アクセサリ:緩衝用ベローズパッド
アクセサリ:排気エア接続用コネクタ
アクセサリ:排気エア接続用コネクタ
アクセサリ:ロボットフランジ FLAN-PL
アクセサリ:ロボットフランジ FLAN-PL

ウェハーグリッパーは太陽電池用のシリコンウェハーやセルの搬送用に開発されたグリッパーです。

吸着面が5インチおよび6インチのウェハー・セルと同等のサイズで、局所的ではなく面として吸着できるため、繊細なウェハーやセルの搬送に最適です。

 

ウェハーグリッパーSWGmの特長

・同等サイズの多孔プレートによるアプローチのため、吸着時の負荷を軽減

・ワークとの接触面積が大きく、安定した高速搬送が可能
 (1秒間に1サイクル)

・真空圧が控えめの真空発生器を採用し、ワークのダメージや破損を抑制

・吸込量が大きく、変形や割れ目をもつ吸着しにくいウェハーも搬送

・ベルヌーイ型の機器と比較して、エア消費量を30~60%カットでき省コスト

・真空破壊機能を備え、精度の高い位置決めが可能

・モジュール式のため、緩衝用パッドやバルブの追加が可能

カタログ [PDF] 791 KB | CAD 2

 

各社パラレルリンクロボットとの接続に便利なフランジご用意しています。
ロボットフランジ FLAN-PL

ウェハーを優しく確実に吸着
ウェハーを優しく確実に吸着

ウェハーグリッパーSWGmのアプリケーション例

・太陽光電池用シリコンウェハー、シリコンセル

・リチウムイオン電池

・繊細なワーク