ウェハーグリッパーは太陽電池用のシリコンウェハーやセルの搬送用に開発されたグリッパーです。

吸着面が5インチおよび6インチのウェハー・セルと同等のサイズで、局所的ではなく面として吸着できるため、繊細なウェハーやセルの搬送に最適です。

ウェハーグリッパーSWGmの特長

・同等サイズの多孔プレートによるアプローチのため、吸着時の負荷を軽減

・ワークとの接触面積が大きく、安定した高速搬送が可能
　（1秒間に1サイクル）

・真空圧が控えめの真空発生器を採用し、ワークのダメージや破損を抑制

・吸込量が大きく、変形や割れ目をもつ吸着しにくいウェハーも搬送

・ベルヌーイ型の機器と比較して、エア消費量を30～60％カットでき省コスト

・真空破壊機能を備え、精度の高い位置決めが可能

・モジュール式のため、緩衝用パッドやバルブの追加が可能

カタログ [PDF] 569 KB　｜　CAD 2

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ウェハーグリッパーSWGmのアプリケーション例

・太陽光電池用シリコンウェハー、シリコンセル

・リチウムイオン電池

・繊細なワーク