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真空ポンプ対応ユニット

真空ポンプ対応ユニットは、外部の真空源から供給された真空エアを制御するための真空機器です。真空ポンプ等、より流量の多い真空発生器や既存設備との併用に適しています。真空ポンプ対応ユニットでは、バルブによる真空エアの切替の他、真空破壊機能の追加やコンディションモニタリングを行う事ができます。