クリーンルームとは?

クリーンルームとはコンタミネーションコントロールが行われ、空気清浄が確保された部屋のことを指します。クリーンルームの4原則、汚染物質を蓄積させない・持ち込まない・発生させない・排除することが求められます。産業や分野ごとに求められ清掃度・クラスは異なっており、その規格は国によって幾つかあります。それらの規格を統一した国際的な規格がISO規格です。

クリーンルーム比較表

■比較表

>>工程ごとに求められるクラス

ISO 3~5: 半導体チップの前工程

ISO 4~6: 液晶ディスプレイ・ガラス基板

ISO 5~6: プリント基板・光学機器

ISO 6: 半導体チップの後工程・リチウムイオン電池

下記表はISO規格と米国連邦規格を表記しています。

クリーンルーム規格

  

ISO 14644-1, JIS B 9920

米国連邦規格 209D

空中の粉塵数 /m3

空中の粉塵数 /ft3

クラス/規定

0.1μm

0.5μm

0.5μm

クラス

ISO 1

10

0.35

ISO 2

100

3.5

ISO 3

1,000

35

1

クラス 1

ISO 4

10,000

352

10

クラス 10

ISO 5

100,000

3,520

100

クラス 100

ISO 6

1.0x106

35,200

1000

クラス 1,000

 

 

■単位換算について

クリーンルーム規格でよく使われる単位についての大まかな換算です。

クリーンルーム対応製品

■シュマルツではクリーンルームに対応した製品をラインナップしています。またシュマルツではドイツの生産技術・オートメーション研究所 " フラウンホーファーIPA ” に自社製品のクリーンルームの規格への準拠テストを依頼し、認定された各製品をご用意しています。

オンラインショップ

*クリーンルーム規格ISO-14644に即したテスト結果(製品単体の場合)

■ISO1 対応製品

ウェハーグリッパー SWGm-6S-146x146x65-1xE100-A-PEEK
ウェハーグリッパー SWGm-6S-146x146x65-1xE100-A-PEEK
ディスプレイガラス用グリッパー STGG-S-170x105-1xE100-A
ディスプレイガラス用グリッパー STGG-S-170x105-1xE100-A
フラット真空パッド(マークレスゴム製) Q-6-HT1
フラット真空パッド(マークレスゴム製) Q-6-HT1
2.5段ベローズ真空パッド(マークレスゴム製) FG-19-HT1
2.5段ベローズ真空パッド(マークレスゴム製) FG-19-HT1

SWGm-6S-146x146x65-1xE100-A-PEEK
ウェハーグリッパー、吸着面 146x146mm
ウェハーグリッパー SWGm

 

STGG-S-170x105-1xE100-A
ディスプレイガラス用グリッパー、
吸着面 170x105mm
ディスプレイガラス用グリッパー STGG

 

Q-6-HT1
フラットパッド、Ø6mm、マークレスゴム製
フラット真空パッド Q

 

FG-19-HT1
2.5段ベローズ、Ø19mm、マークレスゴム製
※こちらの製品の詳細につきましては
 お問い合わせください。

■ISO2 対応製品

1.5段ベローズ真空パッド(耐摩耗シリコーンゴム) FGA-14-SI-HD
1.5段ベローズ真空パッド(耐摩耗シリコーンゴム) FGA-14-SI-HD
マークレスシート付き小型真空グリッパー FM-SW-76x22-0.4-...-SU
マークレスシート付き小型真空グリッパー FM-SW-76x22-0.4-...-SU

FGA-14-SI-HD
1.5段ベローズ、Ø14mm、
耐摩耗シリコーンゴム製
1.5段ベローズ真空パッド FGA

 

FM-SW-76x22-0.4-...-SU
マークレスシート付き小型真空グリッパー
小型真空グリッパー FX/FM

■ISO3 対応製品

2.5段ベローズパッド(マークレスゴム) FG-3-HT1
2.5段ベローズパッド(マークレスゴム) FG-3-HT1
フラット真空パッド(フッ素ゴム) SGP-34-FPM
フラット真空パッド(フッ素ゴム) SGP-34-FPM
4.5段ベローズ真空パッド SPB4f-30-SI-55
4.5段ベローズ真空パッド(シリコーンゴム)SPB4f-30-SI-55
長円ベローズ真空パッド SPOB1f-60x25-SI-55
長円ベローズ真空パッド(シリコーンゴム) SPOB1f-60x25-SI-55
フラット真空パッド(マークレスゴム) SGP-35-HT1
フラット真空パッド(マークレスゴム) SGP-35-HT1

・FG-3-HT1
2.5段ベローズ、Ø3mm、マークレスゴム製
2.5段ベローズ真空パッド FG

 

・SGP-34-FPM
フラットパッド、Ø34mm、フッ素ゴム製
フラット真空パッド SGP

 

・SPB4f-30-SI-55
4.5段ベローズ、Ø30mm、シリコーンゴム製
4.5段ベローズ真空パッド SPB4f

 

・SPOB1f-60x25-SI-55
長円ベローズ、60x25mm、シリコーンゴム製
長円ベローズ真空パッド SPOB1f

 

・SGP-35-HT1
フラットパッド、Ø35mm、マークレスゴム製
※こちらの製品の詳細につきましては、
 お問い合わせください。

■ISO4 対応製品

1.5段ベローズ真空パッド(マークレスゴム) FGA-25-HT1
1.5段ベローズ真空パッド(マークレスゴム) FGA-25-HT1
1.5段ベローズ真空パッド(エラストドゥール) SPB1-40-ED-65
1.5段ベローズ真空パッド(エラストドゥール) SPB1-40-ED-65
フラット真空パッド(マークレスゴム) SGF-125-HT1-60-G1/4-IG
フラット真空パッド(マークレスゴム) SGF-125-HT1-60-G1/4-IG
ベル形真空パッド(エラストドゥール) SAXM-60-ED-65
ベル形真空パッド(エラストドゥール) SAXM-60-ED-65

FGA-25-HT1
1.5段ベローズ、Ø25mm、マークレスゴム製
1.5段ベローズ真空パッド FGA

 

SPB1-40-ED-65
1.5段ベローズ、Ø40mm、エラストドゥール製
1.5段ベローズ真空パッド SPB1

 

SGF-125-HT1-60-G1/4-IG
フラットパッド、Ø125mm、マークレスゴム製
フラット真空パッド SGF

 

SAXM-60-ED-65
ベル形、Ø60mm、エラストドゥール製
ベル形真空パッド SAXM

■ISO5 対応製品

スプリングプランジャー FSTIm
スプリングプランジャー FSTIm

FSTIm-M3-IG-A-5
小型スプリングプランジャー、M3メネジ接続、ストローク 5mm

 

FSTIm-M5-IG-L-10
小型スプリングプランジャー、M5メネジ接続、ストローク 10mm

 

FSTIm-M5-IG-A-20
小型スプリングプランジャー、M5メネジ接続、ストローク 20mm

 

スプリングプランジャー FSTIm

■ISO6 対応製品

小型真空グリッパー FX-SW-120x60-N10
小型真空グリッパー FX-SW-120x60-N10

FX-SW-120x60-N10
小型真空グリッパー(真空発生器内蔵タイプ)、
吸着面 120x60mm、スポンジ厚み 10mm
小型真空グリッパー FX/FM