真空ポンプ

真空ポンプ
真空ポンプ

真空ポンプは電気式真空発生器のグループに属します。真空ポンプの特徴は、大容量システムで達成される高真空値です。真空ポンプは保守が少なく済むため、中央真空発生器としての使用に適しています。

真空ポンプはドライランニングポンプ、ダイアフラム真空ポンプ、油潤滑ポンプ(油回転真空ポンプ)、ウォーターリングのポンプに分けられます。ドライランニング真空ポンプは通常、気密性の高いワークの搬送に使用されます。油潤滑式真空ポンプは非常に高い真空値を発生させますが非常に静かです。ウォーターリングポンプは外気の質が重要な場合に特に使用されます。 又は、ターボ分子ポンプ、メカニカルブースターポンプ、油拡散ポンプ、スパッタイオンポンプやクライオポンプの種類もありますが、基本的に搬送用機器には使えません。

真空ポンプに関する詳細情報

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