流量調整弁 (チェックバルブ・スロットルバルブ)

エアリークによる真空圧の低下を防止するための流量調整弁です。落下防止弁 (チェックバルブ) は吸着していない真空パッドの真空回路を閉じ、システムの真空圧を維持します。スロットルバルブはエアの流路を制限し、通気性の高いワークの搬送に主に使用します。