ウェハーグリッパー SWGm-Wet

ウェハーグリッパー SWGm-Wet
  • 洗浄工程において、表面が濡れた状態のウェハーを安全かつ正確に、低負荷で高速搬送するためのグリッパー
  • エッチング後および洗浄工程後のウェハーの搬送
  • ベルトコンベアからの取出し・投入
  • 生産プロセスの安全性・稼働効率を最適化し、セルの効率と生産量を最大限に高めた半自動化または完全自動化工程を実現
製品ハイライト
  • ウェットウェハーの搬送に最適化された吸着セルの配置により、ウェットウェハーを安全に搬送
  • 軽量かつ高さを抑えたデザインで、極めて高速・高精度なワーク搬送を実現
  • 高吸込量の真空発生器を一体化し、穴の開いたウェハーなど部分的な真空エアの漏れがある場合も安定した把持が可能
  • 排気エアの排気方向を選択可能なため、工程内の汚染を防止
  • 素早いワークリリースが可能なため、精度の高い位置決めが可能
ウェハーグリッパー SWGm-Wet
  • 標準タイプ: 縦方向 (A) または横方向 (S) に排気エア (3) 接続口
  • 125 mmおよび156 mm (5インチおよび6インチ) の一般的なサイズのセルと同等サイズの吸着プレート
  • 任意の方向へ排気可能な接続コネクタ (Ⅱ)
  • ソレノイドバルブや吸着パッド (Ⅰ) 、ロボット取付用のフランジモジュール (Ⅲ) など、様々なアクセサリの追加が可能なモジュール設計
  • 最適化されたプラスチック構造により、グリッパーの高さと重量を低減
  • 交換可能な吸着プレート
  • サイズ: 115 x 115 mm、146 x 146 mm
  • 標準タイプ: 側面排気コネクタ付き
  • 吸着プレート材質: PEEK
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