| デザイン | 排気エア接続：側面 |
| 製品仕様：グリッパー | ウェハー |
| グリッパーの長さ L | 146 (mm) |
| 幅B | 146 (mm) |
| 高さ H | 65 (mm) |
| 材質 | PEEK |
ウェハーグリッパー SWGm-Wet
ウェットウェハーの搬送に最適化された吸着セルの配置により、ウェットウェハーを安全に搬送
軽量かつ高さを抑えたデザインで、極めて高速・高精度なワーク搬送を実現
高吸込量の真空発生器を一体化し、穴の開いたウェハーなど部分的な真空エアの漏れがある場合も安定した把持が可能
排気エアの排気方向を選択可能なため、工程内の汚染を防止
素早いワークリリースが可能なため、精度の高い位置決めが可能
デザイン
デザイン
- 標準タイプ: 縦方向 (A) または横方向 (S) に排気エア (3) 接続口
- 125 mmおよび156 mm (5インチおよび6インチ) の一般的なサイズのセルと同等サイズの吸着プレート
- 任意の方向へ排気可能な接続コネクタ (Ⅱ)
- ソレノイドバルブや吸着パッド (Ⅰ) 、ロボット取付用のフランジモジュール (Ⅲ) など、様々なアクセサリの追加が可能なモジュール設計
- 最適化されたプラスチック構造により、グリッパーの高さと重量を低減
テクニカルデータ
テクニカルデータ
- サイズ: 115 x 115 mm、146 x 146 mm
- 標準タイプ: 側面排気コネクタ付き
- 吸着プレート材質: PEEK
検索結果1~2 件 / 2 件中
| デザイン | 排気エア接続：側面 |
| 製品仕様：グリッパー | ウェハー |
| グリッパーの長さ L | 115 (mm) |
| 幅B | 115 (mm) |
| 高さ H | 65 (mm) |
| 材質 | PEEK |