コンパクトバルブ LQEc / LQEi

コンパクトなデザインの直動式3/2方弁は、グリッパーに直接設置できるため、真空到達時間や換気時間を極めて短くすることができます。

高機能真空スイッチにより、吸着プロセスのモニタリングとコントローラーが容易になり、システムの可用性が高まります。

真空スイッチを内蔵したコンパクトなバルブとしてデザインすることで、自動搬送用機器の数を減らし、接続口や起動時の時間を短縮することができます

最適化された断面積を持つことにより、圧縮エアのないグリップワークの高速で信頼性の高い純電気式蒸着が可能となり、運転コストを削減することができる

終端位置アタッチメントと落下防止弁を備えた双安定弁のデザインにより、停電時でもプロセスの信頼性を高めることができます。