真空技術で使用する記号
真空技術では、回路図や機能図を描き、真空システムを表現します。このような回路図や機能図には、特定機器やモジュールを示す記号が使用されています。下表では、真空機器を表すために頻繁に使用されている記号を一覧にまとめています。
関連するすべての真空機器の回路図は、取扱説明書でご確認いただけます。
以下は真空回路図の例です。
図1: ベーシックエジェクタを使用した真空回路
図2: 制御機能を備えたコンパクトエジェクタを使用した真空回路
図3: 真空センター (VZ) と制御用の電磁弁を使用した真空回路
