真空フィルター
真空フィルターは、粉塵の多い環境で真空発生器やバルブを保護するために使用します。真空フィルターは、真空システムの真空パッドと真空発生器またはバルブの間に設置されます。
真空フィルター STFは 、真空システムの中央フィルターとして設置されることが多いです。真空フィルター STFの異物の除去率はほぼ100％です。
真空フィルター VFTは、真空パッドの真空回路に直接設置される分散型フィルターです。真空フィルター VFTは、軽度から中程度の汚れに対応します。
インラインフィルター VFIは 、真空パッドの真空回路に直接設置される分散型フィルターです。インラインフィルター VFIは、小流量のため軽度の汚れに対応します。
