ウェハーグリッパー
ウェハーグリッパーは繊細なワーク、特に太陽電池用ウェハーやセルなどの搬送に最適です。大流量かつ適度な真空度となる真空発生器を搭載しているため、ワークへの負荷の低減と高速搬送を両立することができます。
ウェハーグリッパーの利点：
- 5インチまたは6インチのウェハーやセルと同等サイズの多孔プレートによる吸着のため、高速搬送時も安定した吸着が可能
- 大吸込量かつ低い真空圧による全面吸着のため、吸着時のワークの負荷が少なく、変形や亀裂を防止
- 真空破壊に対応し、サイクルタイムの短縮や正確な位置決めが可能
- 外部排気用ホース向けコネクタなど、太陽電池生産のニーズに対応するさまざまなアクセサリをラインアップ
アプリケーション例：
- クリーンルーム内での太陽電池用ウェハーやセルの搬送
- 壊れやすいワークの搬送
- 通気性のあるワークの搬送
