| デザイン | 排気エア接続：上部 |
| グリッパーの長さ L | 115 (mm) |
| 幅B | 115 (mm) |
| 高さ H | 40 (mm) |
| エジェクタ本数 | 1 |
| 最大吸込量 | E100 |
| デザインコンパクトエジェクタ | 真空破壊機能 |
| 材質 | PEEK |
軽量かつ高さを抑えたデザインで、サイクルタイムが1秒以下の高速搬送でも安定した搬送が可能
ウェハー搬送に合わせた吸着セルの配置により、ワークの破損を抑制
高吸込量の真空発生器を一体化し、穴の開いたウェハーなど部分的な真空エアの漏れがある場合も安定した把持が可能
デザイン
デザイン
- 標準タイプ: 縦方向 (A) または横方向 (S) の排気エア (3) 接続口
- 125 mm (5インチ) および156 mm (6インチ) の一般的なサイズのセルと同等サイズの吸着プレート
- 任意の方向へ排気可能な接続コネクタ (Ⅱ)
- 吸着パッド (Ⅰ) やソレノイドバルブ、ロボット取付用のフランジモジュール (Ⅲ) など、様々なアクセサリの追加が可能なモジュール設計
- 最適化されたプラスチック構造により、グリッパーの高さと重量を低減
テクニカルデータ
テクニカルデータ
- サイズ: 115 x 115 mm、146 x 146 mm
- 縦方向または横方向からエアの排気方向を選択可能な標準タイプ
- 吸着プレート材質: PEEK
パフォーマンスデータ
パフォーマンスデータ
メートルインペリアル
検索結果1~4 件 / 4 件中
| デザイン | 排気エア接続：上部 |
| グリッパーの長さ L | 146 (mm) |
| 幅B | 146 (mm) |
| 高さ H | 40 (mm) |
| エジェクタ本数 | 1 |
| 最大吸込量 | E100 |
| デザインコンパクトエジェクタ | 真空破壊機能 |
| 材質 | PEEK |
| デザイン | 排気エア接続：側面 |
| グリッパーの長さ L | 115 (mm) |
| 幅B | 115 (mm) |
| 高さ H | 65 (mm) |
| エジェクタ本数 | 1 |
| 最大吸込量 | E100 |
| デザインコンパクトエジェクタ | 真空破壊機能 |
| 材質 | PEEK |
| デザイン | 排気エア接続：側面 |
| グリッパーの長さ L | 146 (mm) |
| 幅B | 146 (mm) |
| 高さ H | 65 (mm) |
| エジェクタ本数 | 1 |
| 最大吸込量 | E100 |
| デザインコンパクトエジェクタ | 真空破壊機能 |
| 材質 | PEEK |