電子・半導体向け新製品: ESD対策と吸着跡予防を同時に実現！

半導体ウェハー上の小さな指紋、ほんのわずかな静電放電、放電に繋がる導電性の細かな塵。これらにより、電子機器の不具合や汚染が発生してしまいます。これまで、電子機器の製造メーカーは一部の課題については妥協しなければならない場合もありました。そこでシュマルツは、すべての要件に応える新しい真空パッドの材質 HT1-ESDをリリースいたしました。

HT1-ESDは、すでに実績のある2つの材質 マークレスゴム HT1と静電気拡散性ゴム NBR-ESDの特性を組み合わせたものです。HT1は、吸着時にワークへの成分の残留を最大限抑え、真空パッドの材質に由来する吸着跡が発生しづらい素材です。同時に、機械的な特性や材質の特性を失うことなく、170℃までの耐熱性を備えています。高い耐オゾン性と耐摩耗性により、真空パッドの寿命が大幅に延びます。ひび割れや材質の劣化を抑え、作業上の安全性を確保します。

シュマルツは材質を組み合わせることで更なるユーザーメリットを提供します: HT1-ESDは、NBR-ESDと同様に、導電性を備えるためのコーティング剤や導電性のカーボンブラックを含んでいません。これらの添加物は、摩耗による劣化・剥離によりESD対策としての性能が低下したり、プロセスの汚染や歩留まりによる損失につながる可能性があります。
新素材のHT1-ESDを使用することで、ユーザーは不良を大幅に削減するクリーンなシステムを実現し、メンテナンスとダウンタイムの削減により生産効率の向上にも貢献します。

吸着跡の抑制・ESD対策を兼ね備えたHT1-ESDは、家電製品や電子機器、半導体の製造工程から最終組立まで、様々なアプリケーションに適しています。シュマルツは、あらゆるワークに対応するため、幅広い形状・サイズの真空パッドをラインアップしています。