フラット真空パッド SUF
- 直径: Ø1～100 mm
- 材質NBR、NBR-ESD、SI、SI-CO、HT1、HT1-ESD、EPDM-CO
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自動クリーンルームソリューション
自動クリーンルームソリューション
実証済みのクリーンルーム品質：クリーンルームソリューションの詳細
使用されている材質はすべて耐摩耗性に優れ、パーティクルの発生を最小限に抑えます。これにより、デリケートな製品の汚染を確実に防ぐことができます。これは、厳しい衛生レギュレーターに準拠し、最高の製品品質を確保するための必須条件です。この品質を証明するために、当社のバキュームオートメーションソリューションは、フラウンホーファーIPAによって独自にテストされています。クリーンルームへの適合性は、TESTED DEVICE®またはCSM®認証マークで確認されています。
取付位置のために、次の図はISOクラスに基づいて当社の製品ポートフォリオを分類し、どのソリューションがお客様の特定のクリーンルーム要件に適しているかを示しています：
真空パッド
1.5段ベローズ真空パッド FSGA (Ø2～78 mm)
- 直径: Ø2～78 mm
- 材質HT1、HT1-ESD、NBR、NBR-ESD、NK、SI、SI-CO、SI-MD、Si-HD、EPDM-CO
- ゴム部に接続された接続用ニップル
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真空パッド SFF/SFB1 (全ラインアップ)
- 直径: Ø10～60 mm
- 材質SI、EPDM、HT1、HT1-ESD、NBR-ESD
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スペシャルグリッパー
非接触パッド SBS
- 直径: Ø10～120 mm
- 保持力: 1.4～104.0 N
- パッド底面に横ズレ防止用のブレーキパッドが付属
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ウェハーグリッパー SWGm
- サイズ: 115 x 115 mm、146 x 146 mm
- 縦方向または横方向からエアの排気方向を選択可能な標準タイプ
- 吸着プレート材質: PEEK
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ディスプレイガラス用グリッパー STGG
- 吸着面: 100 x 55 mm、170 x 105 mm
- 吸着プレート材質: PEEK
- 吸込量: 31～235 l/min
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取付部品
スプリングプランジャー FSTIm
- 軽い力で動くスプリング
- ストローク: 5 mm～20 mm
- 内部スプリング式
- 回転防止タイプをラインアップ
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真空発生器
真空ポンプ対応ユニット SCPM EV
- 定格流量: 33 l/min
- 本体材質: プラスチック
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コンパクトエジェクタ SCPSc / SCPSi
- 吸込量 71 l/min
- 最大真空度: 85%
- メインボディはプラスチック製
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クリーンルームに関する専門知識：試験と相談
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