ウェハーグリッパー SWGを使用した太陽電池用ウエハーの自動搬送

太陽電池用セル製造における検査プロセスでは、製造工程中および前後で、個々のセルの微細構造に損傷がないかを検査します。プロセスは非常に高速で、1時間あたり最大3,600枚のウェハーを処理する場合もあります。約1秒のサイクルタイムを実現するため、このプロセスでは非常に高い加速度で搬送が行われます。そのため、使用する搬送装置は位置精度や測定精度に影響を与えたり、ウェハーにダメージを与えたりしないことが重要です。
　
シュマルツのウェハーグリッパー SWGは、積層された状態のウェハーを1枚ずつ分離し、測定位置に精度よく搬送します。測定結果によって最大72セル用のセルサイズを搬送・整列させることが可能です。SWGは、高い位置精度、ワークへの低負荷、異物混入の抑制、低い消費エア、最大10 gまでのウェハーのズレ防止という条件を兼ね備えています。
　
ヨーロッパとアジアの有名セルメーカーでこのグリッパーを導入した結果、最高の信頼性で、検査量の増加と破損率を減少させることができました。