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エアーセービング機能

「エアーセービング機能」とは、搬送工程におけるエジェクタのエアーセービング機能を指します。エジェクタが特定の真空度に達すると、真空到達プロセスが中断されます。真空度が所定の値を下回ると、エジェクタは再び排気を開始します。したがって、このエアーセービング機能により、真空システムのエネルギー効率と経済効率を向上させることができます。

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