ESD (静電気放電) 対策に適した電気抵抗値

電子・半導体業界では、特に製造/搬送プロセスにおいて、ワークが極度のストレスにさらされることがよくあります。しかし機械や熱による負荷だけが部品や機器を損傷する唯一の原因ではありません。

ICチップやプリント基板のような電気式、電子式、または光電子式の機器では、静電気の帯電とその結果生じる制御不能な静電気放電 (ESD) によって不可逆的な損傷が生じます。

電位が制御されずに急速に等しくなると高い電圧が発生し、組み立てられたプリント基板などの繊細な機器に修復不可能な障害を引き起こします。

予期せぬ静電気放電を防ぎ部品や機器を保護するためには、特に搬送プロセスにおいて、ワークに接触するものが一定の抵抗値を持っている必要があります。

シュマルツの静電気拡散性材質は1.0^6～1.0^9 Ωの電気抵抗値を持ち、静電気の放電を制御し、ワークの破損や不良の発生防止に寄与します。

「ポイント・ツー・グラウンド」測定は、特定の抵抗値を考慮に入れながら放電能力を検証する手段の一つです。この測定に基づいて、システム全体の抵抗値がどの範囲にあるかを特定することができます。特別な抵抗計を使用して、測定点 (1) とシステムの接地点 (接地電位) (2) の間の放電抵抗を測定することができます。

システム全体のESD対策能力は、真空吸着パッド NBR-ESDの抵抗値によってサポートされます。導電性スプリングプランジャーとアース接続を併用することで、ESD対策に対応したシステム構成を実現します。

シュマルツは、FSG、FSGA、SGONシリーズなど、ESD対策材質 NBR-ESDを使用した真空吸着パッドを幅広くラインアップしています。

導電性スプリングプランジャー FSTIm-COと組み合わせて、モジュール式グリッパーシステム (SSP) としてのご提案も可能です。

シュマルツは、自社で考案した実用的な試験手順により、真空パッドの形状やサイズに関係なく、必要な抵抗値を保証します。

左図はESD対策対応製品の記号です。この記号は、他の機器を静電気放電から保護するための材質であることを示します。

シュマルツの真空パッドの材質 NBR-ESDは1.0^6～1.0^9 Ωの抵抗値を持ち、ESD対策の要件を満たしています。