太陽電池業界向け真空ソリューション

真空技術に求められること

高い生産量
ウェハーの製造には、1秒以下のサイクルタイムが要求されます。加速度が大きいため、グリッパーは高い保持力でせん断力に対応する必要があります。ウェハーグリッパー SWGmは高速搬送に対応するだけでなく、オプションの内蔵センサーを使用することで、搬送中に外観やその他の検査工程をまとめて実施できます。

低い破損率
製造工程中の製品の破損の割合は、生産量に大きく影響します。そのため、ウェハーに負荷をかけずに搬送することが重要視されています。ウェハーグリッパー SWGmは、他の搬送技術に比べ、破損率を最小限に抑えることが可能です。広い接触面と低い真空圧により、グリッパーは最小限の表面圧でワークを保持するため、製品へ負荷をかけずに搬送することが可能です。

異物混入 (コンタミネーション) の防止
生産工程中の多くのプロセスにおいて、ウェハー表面の汚染は避けなければなりません。ウェハーグリッパー SWGmはコンタミネーションの発生を抑えるPEEK材を接触面に使用しており、繊細な表面を持つ製品の搬送に最適です。また、吸着跡の発生を抑えるマークレスゴム HT1製の真空パッドも、ウェハー生産工程での使用に適しています。

ウェハーの分離
ウェハーを1つずつ搬送することは技術的に容易ではありません。非接触パッド SBSは、早い流速を発生させ、この流速を利用して、ワークとパッド間に距離がある状態でも保持力を得ることが可能です。結果として、積み重なったウェハーを1つずつ分離し、搬送することができます。また、オプションであるSBSmを使用することで、ウェハーグリッパーの長所と非接触パッドが持つ非密閉状態の製品の保持という長所を組み合わせることが可能です。

ウェットアプリケーションでのウェハーの取り扱い
ウェハーグリッパー SWGm wetは、ウェットウェハーの搬送用に特別に開発されました。独自の吸着セル配置と寸法により、ウェットウェハーの表面を乾燥させることなく、エッチングや洗浄工程でウェットウェハーを確実に搬送することができます。

真空技術に求められること

連結工程での短いサイクルタイム
セルは輸送用の箱から取り出され、短いサイクルタイムで連結工程に供給されます。そのため、高速搬送と高い位置決め精度が要求されます。オプションの非接触パッド SBSmを搭載したウェハーグリッパー SWGmは、搬送時間の短縮と確実なセルの取り出しを実現します。

セルへの負荷のない搬送
連結したセルの搬送では、バスバーのエッジでセルを傷つけないことが最も重要です。真空パッド SGPNシリーズのような非常に柔らかいシールリップを持つ真空パッドは、ストレスの少ない搬送を可能にします。また、コンパクトエジェクタ SCPiは、セルの搬送に適した真空圧帯で搬送できるように特別に設計されており、セルへの負荷を抑え、エネルギー効率の良い搬送を実現します。さらに、連結されたセル全体を搬送するために、自動機へすぐに接続できるグリッパー SSGも開発しました。このグリッパーには真空パッドとエジェクタが装備されており、自動および手動でのハンドリングが可能です。

高い保持力
製造プロセス全体を通して、ガラスは様々な条件の元に搬送されます。加工ラインへの投入時には、ガラスに緩衝用の粉体が塗布されていることがあります。真空パッド SGFは、この粉体が付着した状態でも高い吸着力を発揮できるよう、表面に特殊な形状を設けています。また、せん断力への対応だけでなく、柔軟性や追従性が求められる工程では、1.5段ベローズ真空パッド SABが最適です。どちらの真空パッドも、マークレスゴム HT1製のタイプをラインアップしています。

短いサイクルタイムと高いシステム稼働率
搬送プロセスでは、短いサイクルタイムが要求されます。コンパクトエジェクタ SCPi/SMPiは、吸着と真空破壊の機能が統合されているのが特徴で、吸着とリリースにかかる時間を最小限に抑えます。またエアセービング機能により、真空の立ち上げ時のみ圧縮エアが供給されるため、エネルギー消費も抑えられます。また、このコンパクトエジェクタは、エネルギーおよびプロセス制御のための多数の機能を備えています。

作業者の負荷を抑える自動搬送
プロセス全体を通して、ガラスとモジュールは自動的にハンドリングされます。モジュール式グリッパーシステム SSPは、ガラス板のディスタックから連結されたセルの搬送まで、すぐに使用できるソリューションをご用意します。

真空技術に求められること

高い保持力
製造プロセス全体を通して、ガラスは様々な条件の元に搬送されます。加工ラインへの投入時には、ガラスに緩衝用の粉体が塗布されていることがあります。真空パッド SGFは、この粉体が付着した状態でも高い吸着力を発揮できるよう、表面に特殊な形状を設けています。また、せん断力への対応だけでなく、柔軟性や追従性が求められる工程では、1.5段ベローズ真空パッド SABが最適です。どちらの真空パッドも、マークレスゴム HT1製のタイプをラインアップしています。

跡マークのないガラス搬送
ガラス板を洗浄した後は、絶対に吸着跡をつけないようにしなければなりません。シュマルツは、170℃までの温度でガラスを搬送しても跡が残らないマークレスゴム HT1を開発しました。このHT1製の真空パッドに加え、真空パッド用カバーを使用することで、パッドとガラス表面の接触を防ぐこともできます。

短いサイクルタイムと高いシステム稼働率
搬送プロセスでは、短いサイクルタイムが要求されます。コンパクトエジェクタ SCPi/SMPiは、吸着と真空破壊の機能が統合されているのが特徴で、吸着とリリースにかかる時間を最小限に抑えます。またエアセービング機能により、真空の立ち上げ時のみ圧縮エアが供給されるため、エネルギー消費も抑えられます。また、このコンパクトエジェクタは、エネルギーおよびプロセス制御のための多数の機能を備えています。

作業者の負荷を抑える自動搬送
プロセス全体を通して、ガラスとモジュールは自動的にハンドリングされます。モジュール式グリッパーシステム SSPは、ガラス板のディスタックから連結されたセルの搬送まで、すぐに使用できるソリューションをご用意します。

真空技術に求められること

セルとストリングのやさしい取り扱い

• ストリングの搬送では特にバスバーの端でセルにダメージを与えないことが重要
• 水平方向の保持力と位置決め精度に優れた、自動積層工程での正確なストリング搬送
• 柔らかいシールリップを備えたベローズ真空パッドに加えて、電磁弁や真空発生器も組み合わされた軽量グリッパーによるやさしい把持、解放

人にやさしい、手動によるモジュール搬送

• 真空バランサー「ジャンボ」とスイベルユニット「PSE」を組組み合わせ、ダメージを与えずにパネルやモジュールを楽に搬送
• スムーズに動くアルミ製手動クレーンシステムにより、少ないエネルギーで正確な搬送が可能

吸着痕を残さない

• 専用のウエハーグリッパーにより、特にプラズマコーティングの前に吸着痕を避けることが可能

歩留まり向上

• 専用の真空グリッパー技術は、他のハンドリング方法に比べ特に破損率が低いことが特徴
• 太陽電池産業用に開発されたグリッパーは、広い接触面と低真空圧によりセル表面へのストレスを最小限に抑え優しくハンドリング